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首頁 / 產(chǎn)品中心 / 低壓真空等離子設(shè)備 / 小型實(shí)驗(yàn)等離子清洗機(jī)（射頻） / 小型石英腔體等離子體清洗儀NE-Q05H

產(chǎn)品簡介

NE-Q05H小型等離子體清洗儀整套系統(tǒng)包括真空倉、射頻發(fā)生器、真空泵以及進(jìn)排氣口。處理器為電容耦合外電極型，處理室為圓筒形石英玻璃。等離子體放電系統(tǒng)為200W高頻振蕩電源，電源頻率13.56MHz，為了保證電源有效地供給放電功率，在電源與放電電極間配有阻抗匹配器。此設(shè)備處理器采用外電極式，即放電能量從處理器外部施加，可以避免電極的腐蝕和反應(yīng)物在極板沉積的問題。

等離子清洗技術(shù)利用了低溫等離子體特性使等離子體與材料表面進(jìn)行接觸與反應(yīng), 使被處理材料表面得到化學(xué)、物理的清潔,提高表面的潤濕性,或者植入新的化學(xué)官能團(tuán)以及表面蝕刻。

產(chǎn)品參數(shù)

型號	NE-Q05H
頻率	射頻13. 56 MHz 固態(tài)射頻電源
功率	200W
腔體材質(zhì)	石英耐熱玻璃
腔體容積	5L
腔體尺寸（圓形）	Φ150×280（D）mm
氣體流量控制器	MFC 質(zhì)量流量控制器， 0-300sccm
氣路數(shù)量	2 路氣體，支持氧氣，氬氣等（如需接入腐蝕性氣體，提前告知）
真空測定系統(tǒng)	皮拉尼真空硅管
極限真空度	1Pa
控制方式	PLC+4.3寸觸摸屏
電源供應(yīng)	220V
外形尺寸	548mm(L)×588mm(W) ×617 mm(H)