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等離子清洗機(jī)是一種利用氣體電離產(chǎn)生等離子體來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清洗活化改性的設(shè)備，其屬于干法清洗的一種，等離子清洗與傳統(tǒng)濕法清洗相比,不需要使用大量的酸、堿、有機(jī)溶劑等,不會(huì)給環(huán)境帶來(lái)任何污染,有利于環(huán)保和人員安全,同時(shí)該清洗技術(shù)的均勻性、重復(fù)性和可控性非常好,具有三維處理能力,并對(duì)清洗材料的種類(lèi)沒(méi)有限制。

任何事物都具有兩重性，同樣在了解等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)的同時(shí)，還應(yīng)了解它的不足及使用中存在的缺點(diǎn)。等離子清洗機(jī)在應(yīng)用中確實(shí)存在一些制約因素。

等離子清洗機(jī)缺點(diǎn)主要表現(xiàn)在以下幾點(diǎn)：

1、等離子清洗機(jī)一個(gè)明顯缺點(diǎn)就是經(jīng)過(guò)等離子清洗的產(chǎn)品會(huì)有時(shí)效性，等離子清洗后的材料或產(chǎn)品，對(duì)材料改性的效果并不持久，隨著時(shí)間的推移，部分處理效果會(huì)逐漸失去，這種現(xiàn)象稱(chēng)為等離子清洗的時(shí)效性或者老化。例如剛剛等離子清洗完的產(chǎn)品表面親水性能很好，但隨著時(shí)間的推移，慢慢產(chǎn)品表面又開(kāi)始變得疏水。因此對(duì)于時(shí)效有要求的工藝，在選擇等離子清洗機(jī)時(shí)要充分考慮這個(gè)因素。因此我們一般都會(huì)建議客戶對(duì)使用完等離子清洗后的產(chǎn)品盡快進(jìn)行下一道工藝，無(wú)論是粘接，還是印刷涂層等，避免時(shí)效的影響。在等離子清洗完立馬進(jìn)行下一道工藝，是不會(huì)對(duì)后續(xù)（如粘接）的效果造成影響的。

2、等離子清洗機(jī)不是什么東西都能清洗，等離子清洗是一種微觀層面的清洗，清洗的程度僅僅是納米級(jí)到微米級(jí)之間，并不能完全替代傳統(tǒng)的濕法清洗，等離子清洗適合清洗有機(jī)物、氧化物和微小顆粒，等離子清洗對(duì)于去除表面有機(jī)物缺陷作用尤其明顯，對(duì)于灰塵、大顆粒的無(wú)機(jī)污染物，等離子清洗只能望塵莫及。

例如不能用這種方法除去物體表面的切削粉末，其次在應(yīng)用過(guò)程中還發(fā)現(xiàn)不能用等離子體清洗很好地除去物體表面黏附的指紋，而指紋是玻璃光學(xué)元件上常出現(xiàn)的一種污染物。等離子體清洗也不是完全不能用于除去指紋，但這需要延長(zhǎng)處理時(shí)間，這時(shí)又不得不考慮到這時(shí)它會(huì)對(duì)基材的性能造成不良的影響。所以還需要采用其他清洗措施進(jìn)行預(yù)處理相配合。

3、采用等離子清洗機(jī)的一個(gè)缺點(diǎn)是清洗的工藝復(fù)雜，控制不當(dāng)會(huì)使產(chǎn)品造成損傷。高能粒子，濺射清洗期間作為等離子的產(chǎn)物，可能導(dǎo)致在器件絕緣體(氧化物和氮化物)中形成電子空穴對(duì)，器件的電性能可能因此發(fā)生變化。樣品在射頻場(chǎng)中或在強(qiáng)烈的等離子體中可能被損壞，這需要關(guān)注。損壞的證據(jù)是不確定的，而且看來(lái)?yè)p壞僅發(fā)生在非常高的射頻功率且重復(fù)和延長(zhǎng)周期達(dá)到60~120分鐘。通常在較短時(shí)間的清洗步驟期間，我們不會(huì)遇到這樣的條件。

4、在使用氧氣等離子進(jìn)行清洗的場(chǎng)合，需要注意產(chǎn)品是否不能被氧化，氧氣等離子清洗的致命缺點(diǎn)是清洗完的器件容易生成新的氧化物，變成二次污染。

以上就是關(guān)于等離子清洗機(jī)缺點(diǎn)的一些介紹，在選擇等離子清洗這個(gè)工藝之前充分了解等離子清洗的缺點(diǎn)，對(duì)于等離子清洗工藝能否滿足客戶的技術(shù)要求有一定幫助。目前等離子清洗技術(shù)廣泛應(yīng)用在電子行業(yè)（主要是半導(dǎo)體和光電工業(yè)）、橡膠、塑料、汽車(chē)及國(guó)防等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造業(yè)中，等離子清洗技術(shù)已經(jīng)成為不可或缺的手段，其主要作用是能夠有效提高半導(dǎo)體元器件在生產(chǎn)制造過(guò)程中表面的潔凈度，且活化表面，提高產(chǎn)品的可靠性。這些充分證明缺點(diǎn)并不足以掩蓋等離子清洗的優(yōu)點(diǎn)，未來(lái)等離子清洗機(jī)作為環(huán)保的干式處理設(shè)備，一定會(huì)得到更加大量的運(yùn)用。